SEMICON JAPAN
ダイヘンブースへの
ご来場、
誠にありがとうございました

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DAIHENブーステーマ

半導体製造装置の
生産性向上を実現する
ウエハ搬送
ソリューションの提供

  • Solution1

    ロボット動作エリアを
    30%削減

    垂直多関節型と2軸水平スカラ動作により、EFEM内ロボット動作エリアを従来比30%削減を可能とし、教示作業も自動化。

  • Solution2

    スカラアーム搭載による
    省スペース化

    長方形型搬送モジュールに対応し、省フットプリント化に貢献。ダイレクトドライブモータ搭載により、低振動、高速、高精度搬送を実現。

  • Solution3

    世界最速級の
    真空内高速搬送による
    装置スループット向上

    真空環境下でウエハを高速、高精度で搬送可能なデュアルアームロボット。ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減。高静止摩擦パッドをハンドに搭載すれば、業界最速級の高速搬送を実現。外部センサを使用したウエハセンタ位置ずれ補正機能を搭載。

  • Solution4

    先端パッケージ工程向けに
    最適なパネル搬送

    たわみ、そりがある600mm角基板パネルをフレキシブルパッドで吸着し、パネル搬送の信頼性向上を実現。FPD業界で培った光学センサを使用したアライメント機能により、非接触で高精度搬送を実現。

省スペース化並びに生産性向上を
提案したブースで
ロボットの動きをご覧いただけます

ブース内プレゼンテーション

PRESENTATION

垂直スカラロボットによる
自動ティーチング毎日開催

弊社の大気ロットでは、産業用ロボットの課題でもあるティーチング作業が自動で行えます。
また、垂直多関節型と2軸水平スカラ動作により、EFEM内搬送スペースを最小化を実現します。
実機を使用したプレゼンテーションとなっておりますので、是非ご体感ください。

狭い空間での
ティーチング作業からの
解放を目指した
人に優しいロボット

社会的課題に貢献すべく、ロボットによるウエハ搬送エリアの狭小化や単一面積当たりの生産性改善、ロボット教示作業の自動化提案を行い、人にやさしく、教示作業の信頼性を高める搬送ロボットを開発、提供を行っております。
弊社ブースでは、省フットプリント対応の大気内ウエハ搬送スカラロボット、真空内ウエハ搬送スカラロボット並びに先端パッケージ向けパネル搬送ロボットの実機展示いたしますので、皆様のお越しをお待ちしております。

出展内容や
当日のお打ち合わせを
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DAIHENブーステーマ

半導体製造装置の
生産性向上を実現する
ウエハ搬送
ソリューションの提供

MOVIEブース内プレゼンテーション

垂直スカラロボットによる
自動ティーチング

MOVIESolutionのご紹介

ブース内展示製品の
ご案内

  • Solution1

    ロボット動作エリアを
    30%削減

    UT-AXW3000NS
  • Solution2

    スカラアーム搭載による
    省スペース化

    UT-VSW3000NS
  • Solution3

    世界最速級の
    真空内高速搬送による
    装置スループット向上

    UT-VDW3000HS
  • Solution4

    先端パッケージ工程向けに
    最適なパネル搬送

    SPR-AD008BTN-154/035

ご来場者様のお声

  • 実際にロボットが動いているところを見られたのが良かったです。搬送のスピードと正確性を確認できたので、製造ラインに取り入れたときのイメージが湧きました。自動ティーチングのデモも非常にわかりやすかったです。人手をかけずに迅速なセットアップが可能という点が、現場の課題解決に直結しそうだと感じました。

  • ロボットの耐久性についても少し触れられていて、長期間の運用でも安心できる印象を受けました。ティーチングプロセスが自動化されることで、人手不足の現場においてリスクが低くなりそうです。また、作業の標準化が進むことで、安全面も向上するのではと思いました。

  • 搬送ロボットの省スペース設計と省エネ性能が印象的でした。垂直スカラロボットの自動ティーチングは、現場での手間を大幅に省けると感じました。これによってトレーニングコストが削減できるのは大きいですね。