ご来場者様のお声

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  垂直多関節ロボットを搭載した省フットプリント型EFEMの展示は、半導体工場の生産性向上に寄与できると感じました。
  
  また、オートティーチングの実演を見ることができ、狭い空間でのティーチング作業から解放されると感じました。

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  パネル搬送ロボットは、FPD搬送技術を応用したもので、非接触で角パネルの左右ずれ、傾きを補正する機能もフィールドで十分実績のあるロボットであることをお聞ききし、長期間の運用でも信頼できると感じました。

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  アクリルで囲った模擬的なチャンバー内での真空スカラロボットの動作は、振動も見えず、パーティクル発生を誘発しないレベルの搬送であると感じました。搬送スピードも確認できたので、装置搭載時のスループットもイメージが湧きました。
  
  また、世界最速級の真空ロボットは、安定して機敏に動作しており、プロセス装置によっては、必要なスピードであることをお聞きしました。