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ACTRANS
導入のメリット
円筒座標型 高精度・低振動 ウエハ搬送ロボットUT-VDX3000NS Series
ダイレクトドライブモータを搭載し、
振動を大幅に低減した
高精度シングルアーム真空ロボット
特長
- ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減
- 隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下に対応
- 旋回軸エンドレス仕様により、装置スループット改善に貢献
- コントローラ内蔵により、装置の小型化に貢献
- ウエハセンター位置ずれ補正機能付き
搬送先へ、高精度でウエハ搬送を実現。φ0.02mm (3σ)以下を達成
クリーン搬送ロボットACTRANS導入のメリット
仕様*1
| 型式 Model | UT-VDX3000NS | |
|---|---|---|
| 分類 Category | Standard Type | |
| ロボット形状 Robot Type | 2軸円筒座標型: 2 axis Cylindrical Coordinate | |
|
動作範囲 Operation Range |
X-axis | 850mm |
| θ-axis | Endless | |
| Z-axis | - | |
|
動作時間 Oprerating Time |
X-axis | 2.0sec. / 850mm |
| θ-axis | 2.5sec. / 180° | |
| Z-axis | - | |
|
繰返し位置精度 Repeatability |
XY direction | φ0.02mm(3σ) (※2) |
| Z direction | - | |
| 可搬質量 Payload | 1.0kg (※3) | |
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 1 | |
| 本体質量 Mass | 29kg | |
|
設置環境 Environment |
温度 Temperature | 5-40℃(本体)/5-80℃(アーム) |
| 湿度 Humidity | 20-70%, No condensation | |
| 圧力 Pressure | Atmospheric pressure ～ 10-7Pa | |
※1
オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります
※2 当社の評価条件による
※3 ハンドベース、ハンド、ウエハの合計質量
製品についてのQ&A
