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ACTRANS
導入のメリット
UTW-REH5500
ハイスピードモデル
450WPHの高速搬送で
装置のスループット向上に貢献
特長
- １つのカセットと２つのステージ上のウエハを順番に入れ替える動作を８秒で実施。
- Sorter、拡散炉、Etch、イオン注入装置等、高速搬送が必要な装置に最適。
- 在荷センサ、マッピングセンサ装備可能。
一般的な動作パターン
- FOUPから未処理ウエハ1枚取り出し
- アライナー前に移動
- アライメント済みウエハと未処理ウエハを入れ替え
- 装置ステージに移動
- 処理済みウエハとアライメント済みウエハを入れ替え
- FOUP前に移動
- 処理済みウエハをFOUPに収納
上記1～7の動作を8秒/cycleで実施可能なため、1時間当たりの搬送枚数は450枚が最大となり、450WPHを実現します。
クリーン搬送ロボットACTRANS導入のメリット
仕様*1
| 型式 Model | UTW-REH5500 | |
|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type |
4軸円筒座標系 4 axis Cylindrical Coordinate |
|
|
動作範囲 Operation Range |
X, A-axis | 500mm |
| θ-axis | 340° | |
| Z-axis | 300mm | |
|
最大動作速度 Max. Operation Speed |
X, A-axis | 1800mm/sec. |
| θ-axis | 360°/sec. | |
| Z-axis | 500mm/sec. | |
|
動作時間 Operating Time |
X, A-axis | 0.5sec./500mm |
| θ-axis | 1.2sec./340° | |
| Z-axis | 0.8sec./300mm | |
| 繰返し位置精度 Repeatability |
XYZ方向：各±0.1mm XYZ direction ±0.1mm each |
|
| 可搬質量 Payload | 0.5kg/arm (ハンド質量を含む including E/E) | |
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 3 (ISO-14644) | |
| 本体質量 Mass | 32kg | |
| 必要諸源 Facilities | 真空 Vacuum | -80kPag or less, 10NL/min |
| 電源 Power | 3 Phases 200-230±10% VAC 15A | |
| 設置環境 Environment | 温度 Temperature | 0-40℃ |
| 湿度 Humidity | 70% or less (No condensation) | |
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります
製品についてのQ&A
