ウエハ真空搬送ロボット　ラインアップ拡充

日刊工業新聞『半導体産業』特集記事（2022年7月12発行）に掲載されました。

• 超高精度・低振動タイプの『UT-VDX3000』
• 半導体生産性向上に寄与する超高速搬送タイプの『UT-VDW3000』
• 高温プロセス装置に対応可能なタイプの『UTVW-R2800H』

など、付加価値の高い真空搬送ロボットのラインアップを拡充し、半導体産業の進化・発展に貢献していきます。