標準ロボットの3D-CADデータは準備しております。
お問い合わせフォームにご記入いただき、お気軽にお問い合わせください。

各種ロボットの標準仕様書、外形図面、3D-CADデータを準備しております。

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営業マンより、ご連絡を取らせていただき、貴社装置に組み込んだ際に、
・旋回可能なスペースが確保可能か？
・搬送距離が届くか？
・高さ方向のストロークは届く範囲か？
・目標とする装置スループットから、ロボット速度仕様が合っているか？
等のメカニカル仕様の確認からさせていただきます。

・シングルアーム／ダブルアーム
・真空吸着仕様／エッジグリップ仕様
・円筒座標型スタンドアロン仕様
・円筒座標型＋走行軸付き
・垂直及び水平スカラ仕様
・防水タイプ
等、多くのラインアップを揃えております。

可能です。
大気用ロボット、真空用ロボットのエンドエフェクタ(ハンド)は、標準タイプを準備しておりますが、プロセス装置のウエハ受け渡しステージに応じて、形状が変わることが想定されます。また、耐熱仕様のご要求により、材質変更もあります。その場合、個別に仕様の取り交わしを行い、個別設計も可能です。

・シングルアームタイプでは、標準仕様に加え、ロングアーム仕様、高可搬仕様があります。
・ダブルアームタイプでは、超高精度仕様、高熱対応仕様、高速搬送仕様とラインアップを揃えております。

・機種によって、隔壁シール、磁性流体シール、ゴムシールを使い分けております。

一般産業用は、ロボットアームを動かしたいほぼ全ての位置をティーチング登録し、自動運転モードでその位置を順番になぞって、動作させます。一方、半導体業界用は、搬送位置のみティーチングし、極力、搬送経路途中のティーチング位置を減らしています。自動運転モードでは、その搬送位置のウエハを下から取り出すか、或いは、搬送位置へウエハを上から収納するかを、GET或いはPUTコマンドで指定して、動作させます。
一般産業用は、ティーチングをする人(オペレータ)の考えで、ロボットアームの動作経路が決まるのに対して、半導体業界用は、１点のみティーチングされた搬送位置をコマンドの動きでアプローチ方向が切り替わります。
半導体業界用は、人によるティーチング作業を簡略化するために、生まれた技術です。

ウエハロボットでは、業界標準のSEMI S2,S8,F47に対応し、UL準拠しております。一部、CEマーキング自己宣言機種も準備しております。詳細は、お気軽にお問い合わせください。

部品の含有調査を順次進めており、ご要求に応じて、RoHS10の不使用証明書発行、chemSHERPAデータの提出、TSCA非該当の回答等を致しております。

機種にもよりますが、後継機種を準備しております。
詳細は、お気軽にお問い合わせください。

接続方法は、LAN、RS-232C、パラレルI/O、CC-Linkを準備しております。
更なる詳細仕様に関しては、お気軽にお問い合わせください。

機種にもよりますが、専用ツール『On Desk』を準備しております。
ツールをインストールしたノートPCを貸し出すことは可能です。ノートPCをロボットコントローラと見立てて、上位装置から動作コマンドを送信するとノートPC画面上でアニメーションロボットが動作し、目的位置に到達すれば、動作完了通知が送信されます。

可能です。
基本は、ロボット側のコントローラで制御いたしますが、個別で、電磁弁に接続する配線を公開し、ユーザ側で制御いただくことも可能です。

ダイヘンホームページ内のクリーン搬送ロボットページにおいて、『生産中止機種品一覧』をPDF掲載し、その中で、修理期間を掲載しております。修理期間内であり、部品在庫があれば、修理は可能です。

米国、韓国、中国、台湾に拠点があります。
・米国(サンノゼ)：営業拠点
・韓国(平澤)：サービス拠点
・中国(常熟)：生産・サービス拠点
・台湾(台北)：営業・サービス拠点

ウエハ搬送ロボットは、全て日本で実施しております。
FPDロボットについては、中国、韓国、台湾に設置されているロボットは、各拠点にロボットが返却され次第、修理・サービス対応をしております。
時間の経過とともに、状況は変化しておりますので、お問い合わせください。

機種と状況によりますが、ウエハロボットは日本からの出張となり、FPDロボットは、韓国、中国、台湾各拠点対応となります。
時間の経過とともに、状況は変化しておりますので、お問い合わせください。