製品一覧

（PLP搬送ロボット／ウエハ搬送ロボット／ウエハアライナ／FPD搬送ロボット）

PLP搬送ロボット（PLP先進後⼯程）

GPUとHBMを実装するインターポーザは、シリコンウエハをベースとした半導体前⼯程と同等のプロセスで配線層が製造されます。しかし、円型ウエハで製造される⾓型インターポーザは、効率よく数を確保することが困難です。そこで、FPD製造で採⽤されてきた⾓型の第2〜第3世代ガラス基板や、プリント基板製造で採⽤されてきた⾓型の樹脂材を⽤いることで、効率的かつ⼤量にインターポーザを製造する取り組みが進められています。

このような半導体業界において、ダイヘンは、30年以上にわたり取り組んできたFPD⽤パネル搬送ロボットで培った技術⼒と蓄積したノウハウを活かし、PLP搬送ロボットにおいてもより優れた製品を投⼊し、半導体業界の発展に貢献してまいります。

- 真空ロボット

- 大気ロボット

ウエハ搬送ロボット

クリーンルーム環境下でのウエハ搬送ロボットとして、真空ロボット‧⼤気ロボットを⽤意。半導体製造の「⾃動化」「効率化」を⽀える重要な役割を担っており、650WPHクラスの⾼速搬送性能と±0.05mmオーダーの⾼精度位置決めを実現。低発塵‧低振動設計により、ウエハ搬送における信頼性とスループットが向上します。

- 真空ロボット

大気ロボット

ウエハアライナ

ウエハの位置ずれ補正を担うウエハアライナは、ウエハ搬送装置の⼀翼を担う⾼精度機構です。XY±0.1〜0.2mm、θ精度±0.1〜0.2°レベルで繰返し位置精度を確保し、ウエハ搬送時の⼯程変動を最⼩化。アライメント時間が短く、ウエハ搬送ロボットが他のステージ間搬送を⾏っている間にアライメント処理が完了するため、ロボット搬送タクトタイムに影響は与えず、半導体ロボットと連携し、製造ライン全体の品質と歩留まりを⽀えます。

FPD（フラットパネルディスプレイ）搬送ロボット

フラットパネルディスプレイ製造⼯程に最適なFPD搬送ロボット。⼩型から⼤型パネル搬送ロボットのラインナップを揃え、⾼速‧⾼精度な搬送を実現します。低発塵‧低振動設計でクリーンルームでの安定稼働を確保。液晶‧有機ELなどのフラットパネルディスプレイ⽣産ライン⾃動化に貢献し、⾼品質製造と⽣産効率向上を⽀えます。

- 真空ロボット