ウエハ搬送ロボット
（真空ロボット／大気ロボット）
製品一覧
真空ウエハロボット・大気ウエハロボット・ウエハアライナを幅広くラインアップし、半導体製造工程の多様なニーズに応えます。最大650WPHの高速搬送能力と±0.05mmの繰返し位置精度を実現し、工程全体のスループットと信頼性を大幅に向上。さらに低発塵・低振動設計により、クリーンルーム環境での安定稼働を確保します。省スペース構造で装置組み込みも容易なため、生産ライン全体の最適化に貢献し、先端デバイスの製造を力強く支えるウエハ搬送ロボット群です。
ウエハ搬送ロボット
真空ロボット
円筒座標型 高耐熱 ウエハ搬送ロボット
UTVW-R2800H
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ロボット形状
4軸円筒座標形
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繰返し位置精度
φ0.1mm(3σ)
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可搬質量
2.0kg
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本体質量
85kg
高温プロセスに対応した高精度・低振動ダブルアーム真空ロボット
製品詳細円筒座標型 標準型 ウエハ搬送ロボット
UT-VFX3000NM Series
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ロボット形状
3軸円筒座標型
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繰返し位置精度
φ0.1mm(3σ)
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可搬質量
0.7kg
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本体質量
29kg
アーム長、Z軸の有無が選択可能なシングルアーム真空ロボット
製品詳細円筒座標型 高速・低振動 ウエハ搬送ロボット
UT-VDW3000HS Series
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ロボット形状
4軸円筒座標型
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繰返し位置精度
φ0.1mm(3σ)
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可搬質量
2.0kg
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本体質量
160kg
世界最速級の真空内高速運搬により、装置スループットの大幅な向上に貢献する高速・低振動ダブルアーム真空ロボット
製品詳細円筒座標型 高可搬 ウエハ搬送ロボット
UT-VFX4000NM Series
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ロボット形状
3軸円筒座標型
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繰返し位置精度
φ0.1mm(3σ)
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可搬質量
4.0kg
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本体質量
44kg
マスク、サセプター、トレイ等の高可搬搬送が可能なシングルアーム真空ロボット
製品詳細スカラアーム型 高精度 ウエハ搬送ロボット
UT-VSW3000NS Series
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ロボット形状
5軸水平多関節型
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繰返し位置精度
φ0.05mm(3σ)
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可搬質量
1.0kg
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本体質量
260kg
スカラアーム搭載による省スペース化とダイレクトドライブモータによる高精度、低振動を実現した真空ロボット
製品詳細円筒座標型 高精度・低振動 ウエハ搬送ロボット
UT-VDX3000NS Series
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ロボット形状
2軸円筒座標型
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繰返し位置精度
φ0.02mm(3σ)
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可搬質量
1.0kg
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本体質量
29kg
ダイレクトドライブモータ搭載とコントローラ内蔵により、低振動と省スペース化を実現した高精度シングルアーム真空ロボット
製品詳細大気ロボット
垂直多関節型 ウエハ搬送ロボット
UT-AXW3000NS Series
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ロボット形状
6軸垂直多関節型
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繰返し位置精度
φ0.05mm(3σ)
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可搬質量
2.0kg
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本体質量
150kg
垂直多関節型と2軸水平スカラ動作により、EFEM内搬送スペースを最小化
製品詳細スカラ型 走行軸レス 4Port ウエハ搬送ロボット
UTM-R3700F
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ロボット形状
6軸多関節型
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繰返し位置精度
φ0.1mm(3σ)
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可搬質量
0.5kg
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本体質量
74kg
4Portにアクセス可能な多関節型ロボット
製品詳細円筒座標型 標準型 ウエハ搬送ロボット
UT-AFX/W3000NM Series
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ロボット形状
4軸円筒座標型
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繰返し位置精度
φ0.1mm(3σ)
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可搬質量
1.0kg
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本体質量
32kg
〜300mm ウエハ用標準モデル
サーボアンプを内蔵し、省配線化した標準ロボット
円筒座標型 高可搬 ウエハ搬送ロボット
UT-AFX/W4000NM Series
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ロボット形状
4軸円筒座標型
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繰返し位置精度
φ0.1mm(3σ)
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可搬質量
4.0kg
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本体質量
50kg
〜300mm ウエハ用標準モデル
高可搬搬送と広範囲動作が可能な標準ロボット
円筒座標型 高速 ウエハ搬送ロボット
UTW-REH5500
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ロボット形状
4軸円筒座標型
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繰返し位置精度
φ0.1mm(3σ)
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可搬質量
0.5kg
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本体質量
32kg
ハイスピードモデル
450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献
特殊機 防滴 ウエハ搬送ロボット
UTX/W-RF5501RW
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ロボット形状
5軸円筒座標型
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繰返し位置精度
φ0.1mm(3σ)
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可搬質量
1.5kg
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本体質量
40kg
〜300mm ウエハ用防滴モデル
IP64の保護等級を持つ防滴ロボット
