UT-VDW3000HS
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UT-VDW3000HS UT-VDW3000HS

UT-VDW3000HS Series

200〜300mm Double Arms

世界最速級の真空内高速搬送により、
装置スループットの大幅な向上に貢献する
高速・低振動ダブルアーム真空ロボット

特長

  • 世界最速級(650WPH)の真空内高速搬送を実現
  • ダイレクトドライブモータ搭載により、アーム動作時の振動を大幅に低減
  • アーム部にスチールベルトを採用し軌跡精度と位置決め精度の向上
  • ハンド上に高摩擦パッドを採用しウエハ搬送ずれ防止
  • ウエハセンター位置ずれ補正機能付き

ウエハ滑り対策

ウエハ滑り対策図

仕様*1

型式 Model UT-VDW3000HS series
ロボット形状 Robot Type 4軸円筒座標型: 4 axis Cylindrical Coordinate
動作範囲
Operation Range
X1, X2-axis 620mm
θ-axis 346°
Z-axis 50mm
最大速度
Max. Operation Speed
X1, X2-axis 380°/sec.
θ-axis 300°/sec.
Z-axis 185mm/sec.
動作時間
Operating Time
X1, X2-axis 0.6sec./620mm
θ-axis 0.7sec./90°
Z-axis 0.25sec./20mm
繰返し位置精度 Repeatability XYZ direction: ±0.1mm each (3σ) (※2)
可搬質量 Payload 2kg (※3)
クリーン度 Cleanliness ISO Class 1
本体質量 Mass 160kg
設置環境
Environment
温度 Temperature 5-40℃(本体)/5-80℃(アーム表面)
湿度 Humidity 20-70%, No condensation
圧力 Pressure Atmospheric pressure ~ 10-6Pa

※1オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります
※2 当社の評価条件による
※3 ハンドベース、ハンド、ウエハの合計質量

図面1

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