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ACTRANS
導入のメリット
OFH-4100 Series
50～300mmウエハ用
高速アライメントが可能なアライナ
特長
- 業界最速アライメント時間を誇る吸着保持式アライナー
- コマンドにより、複数サイズのウエハアライメントが可能
- オリフラ部並びにノッチ部を指定位置に停止可能
- 石英ウエハにも対応可能
動作の流れ
仕様*1
| 型式 Model | OFH-4100 | OFH-4101 | OFH-4102 | OFH-4103 | |
|---|---|---|---|---|---|
|
適用ウエハサイズ Applicable Wafer Size (※1) |
200-300mm | 150-200mm | 100-200mm | 50-150mm | |
| 繰返し位置精度 Repeatability | XY方向：各±0.1mm、θ方向：±0.2° | ||||
| アライメント時間 Alignment Time | 1.8sec. (※2) | ||||
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 3 (ISO-14644） | ||||
| 本体質量 Mass | 8kg | ||||
|
必要諸源 Facilities |
真空 Vacuum | -80KPag or less, 10NL/min | |||
| 電源 Power | 24 VDC 3A | ||||
|
設置環境 Environment |
温度 Temperature | 15-25℃ | |||
| 湿度 Humidity | 60% or less (No condensation) | ||||
※1
石英ウエハ対応品としてOFH-4100Qシリーズがあります。詳細はお問い合わせください
※2
50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5sec.です
EG-303 Series
300mmウエハ用
ウエハ裏面に接触しない
エッジグリップタイプのアライナ
特長
- ３本爪可動によるエッジグリップ方式で高精度なセンタリング。
- オプションのバッファポートにより、アライメント中のロボット待ち時間を最小化。
- ノッチ部を指定位置に停止可能。
- お客様が準備したカメラ位置にウエハlD部を移動させるコマンド準備。
動作の流れ
1. 電源をONします。
「原点復帰」コマンドにより、EGは「搬送用ロボットがEGへウエハを収納、および、取出し可能な位置」にアーム部を移動します。
2. 搬送用ロボットで、ウエハステーションにアライメント前のウエハを置きます。
3. EG上でウエハのIDを読む場合は「OCRポジション移動」コマンドを実行します。
EGがウエハを「OCR読み出し角度」に合わせ「OCRポジション」に移動させます。お客様側のシステムによりOCR読み出し操作を行ってください。
4.「アライメント」コマンドを実行します。
EGがウエハを「アライメント角度」に合わせ、ウエハステーションに置きます。その後、搬送用ロボットがEGにアクセス可能な位置にアーム部を移動します。
5. 搬送用ロボットで、ウエハステーションからアライメント済みのウエハを取り出してください。
仕様
| 型式 Model | EG-303 | |
|---|---|---|
| 適用ウエハサイズ Applicable Wafer Size | 300mm | |
|
繰返し位置精度 Repeatability |
高精細モード High Accuracy Mode | XY: ±0.05mm θ: ±0.075° |
| ノーマルモード Normal Mode | XY: ±0.2mm θ: ±0.1° | |
|
アライメント時間 Alignment Time |
高精細モード High Accuracy Mode | Average 7.5sec. |
| ノーマルモード Normal Mode | Average 3.5sec. | |
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 3 (ISO-14644） | |
| 本体質量 Mass | 7kg | |
| 必要諸源 Facilities | 電源 Power | 24 VDC 3A |
|
設置環境 Environment |
温度 Temperature | 0-40℃ |
| 湿度 Humidity | 70% or less (No condensation) | |
