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ACTRANS
導入のメリット
FPD搬送ロボット 特⻑
- 第2〜3世代FPD搬送シングルアームロボット
- 先進後⼯程向けPLP搬送にも対応
クリーン搬送ロボットACTRANS導入のメリット
先進後⼯程向け
PLP搬送ロボット 特⻑
- 先進後工程向けで、ガラスパネル、樹脂パネルの搬送が可能
- 高真空対応
仕様*1
| 型式 Model | SPR-804R | |
|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 3軸円筒座標型：3axis Cylindrical Coordinate | |
|
動作範囲 Operation Range |
X-axis | 1080mm |
| θ-axis | 330° | |
| Z-axis | 45mm | |
|
動作時間 Cycle Time |
X-axis | 1.8sec/1080mm |
| θ-axis | 1.4sec/180° | |
| Z-axis | 0.9sec/45mm | |
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ±0.2mm each | |
| 可搬質量 Payload | 3kg（ハンド質量含む：including E/E） | |
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 4（ISO-14644） | |
| 本体質量 Mass | 80kg | |
| 耐真空度 | 10-6 Pa | |
| 設置環境 Environment | 温度 Temperature | 5-40℃ |
| 湿度 Humidity | 70% or less, No condensation | |
※1
オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
※1 Transfer perfomance differs from the standard when
options are added.
製品についてのQ&A
