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ACTRANS
導入のメリット
G5～6世代対応ダブルアームFPD搬送ロボットSPR-8580
特長
- 第5～6世代FPD搬送ダブルアームロボット
- パネル製造用マスク搬送も可能な高可搬対応
- 先進後工程向けPLP搬送にも対応
クリーン搬送ロボットACTRANS導入のメリット
仕様*1
| 型式 Model | SPR-8580 | |
|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 4軸円筒座標型：4axis Cylindrical Coordinate | |
|
動作範囲 Operation Range |
X1, X2-axis | 2977mm |
| θ-axis | 330° | |
| Z-axis | 450mm | |
|
動作時間 Cycle Time |
X1, X2-axis | 3.0sec/2977mm |
| θ-axis | 3.2sec/180° | |
| Z-axis | 2.2sec/450mm | |
| 繰返し位置精度 Repeatability | XYZ±0.3mm each | |
| 可搬質量 Payload | 85kg（ハンド質量含む：including E/E） | |
| 本体質量 Mass | 2900kg | |
| 耐真空度 | 10-6 Pa | |
| 設置環境 Environment | 温度 Temperature | 5-40℃ |
| 湿度 Humidity | 70% or less, No condensation | |
※1
オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
※1 Transfer perfomance differs from the standard when
options are added.
製品についてのQ&A
