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ACTRANS
導入のメリット
円筒座標型 標準型ウエハ搬送ロボットUT-AFX/W3000NM Series
～300mmウエハ用標準モデル
サーボアンプを内蔵し、
省配線化した標準ロボット
特長
高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べロボット本体内及び外配ケーブルを大幅に削減し信頼性を向上
従来機*1と比較して動作時間を短縮
| X1, X2-axis | 1.2sec. 1.0sec. |
|---|---|
| θ-axis | 2.5sec. 2.2sec. |
| Z-axis | 1.7sec. 1.5sec. |
*1. UTW-RD5700
多彩なオブションをラインナップ
クリーン搬送ロボットACTRANS導入のメリット
仕様*1
| 型式 Model | UT-AFX3000NM | UT-AFW3000NM | |
|---|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 3-axis Cylindrical Coordinate | 4-axis Cylindrical Coordinate | |
|
動作範囲 Operation Range |
X1, X2-axis | 500mm | |
| θ-axis | 340° | ||
| Z-axis | 300mm or 450mm | ||
|
最大動作速度 Max. Operation Speed |
X1, X2-axis | 1000mm/sec. | |
| θ-axis | 200°/sec. | ||
| Z-axis | 250mm/sec. | ||
|
動作時間 Operating Time |
X1, X2-axis | 1.0sec./500mm | |
| θ-axis | 2.2sec./340° | ||
| Z-axis | 1.5sec./300mm, 2.1sec./450mm | ||
| 繰返し位置精度 Repeatability |
XYZ方向：各±0.1mm XYZ direction ±0.1mm each |
||
| 可搬重量 Payload | 1.0kg/arm (ハンドを含む)(Including E/E) | ||
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 1 (ISO-14644) | ||
| 本体質量 Mass | 30kg | 32kg | |
| 必要諸元 Facilities |
真空(吸着用) Vacuum(for adsorption) |
-80kPaG or less, 10NL/min | |
|
真空(機内排気用) Vacuum(for Purging) |
-80kPaG or less, 10NL/min | ||
| 電源 Power | Single-phase 200-230±10% VAC, 50/60Hz, 5A | ||
| 設置環境 Environment | 温度 Temperature | 5-45℃ | |
| 湿度 Humidity | 20-70% (結露なきこと)(No condensation) | ||
＊1. オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります
製品についてのQ&A
