UT-AFX/W4000NM Series

～300mmウエハ用高可搬モデル
高可搬搬送と広範囲動作が
可能な標準ロボット

特長

サーボアンプを内蔵し、高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数及び外配ケーブル本数を大幅に削減。

高可搬搬送（ハンドフォルダ、ハンド、搬送ワークの総質量4kg）を可能としたため、反転軸搭載が可能。
テープフレーム付きウエハ搬送、貼り合わせウエハ搬送、レチクル搬送が可能。

ワーク把持は、真空吸着方式に加え、圧空を使用したエッジクランプ方式とベルヌーイ方式に対応可能。

ベルヌーイハンドは、TAIKOウエハ裏面外周部把持に対応予定。

型式 Model		UT-AFW4010NM	UT-AFW4000NM
分類 Category		Long Arm Type	High Payload Type
ロボット形状 Robot Type		4軸円筒座標型：4axis Cylindrical Coordinate
動作範囲 Operation Range	X1, X2-axis	770mm	500mm
	θ-axis	340°
	Z-axis	300mm or 450mm
	R-axis	-	(182°)
最大動作速度 Max. Operation Speed	X1, X2-axis	1180mm/sec.	800mm/sec.
	θ-axis	200°/sec.
	Z-axis	250mm/sec.
	R-axis	-	(180°/sec.)
動作時間 Operation Time	X1, X2-axis	1.7sec./770mm	1.7sec./500mm
	θ-axis	2.2sec./340°
	Z-axis	1.6sec./300mm	2.2sec./450mm
	R-axis	-	(1.7sec./180°)
繰返し位置精度 Repeatability		XYZ±0.1mm	XYZ±0.1mm, R±0.1°
可搬重量 Payload		1kg/2N･m (※2)	4kg/8N･m (※2)
クリーン度 Cleanliness	クランプ仕様 Edge Clamp E/E Type	ISO Class 3 (ISO-14644)
クリーン度 Cleanliness	吸着仕様 Vacuum E/E Type	ISO Class 1 (ISO-14644)
必要諸元 Facilities	Air	-	0.4-0.7MPa, 200L/min
必要諸元 Facilities	Vacuum	-80kPa, 10NL/min	-
設置環境 Environment	温度 Temperature	0-40℃
設置環境 Environment	湿度 Humidity	70% or less, No condensation

※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります
※2 ハンドフォルダ、ハンド、ワーク質量の合計値