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UT-AXW3000NS
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UT-AXW3000NS UT-AXW3000NS

垂直多関節型ウエハ搬送ロボットUT-AXW3000NS Series

200〜300mm Double Arms Vaccum Clamp

垂直多関節型と２軸水平スカラ動作により、
EFEM内搬送スペースを最小化

特長

  • 垂直多関節型と２軸水平スカラ動作により、EFEM内搬送スペースを最小化に貢献
  • ワーク把持方法は、真空吸着方式に加え、圧空を使用したエッジクランプ方式に対応可能
  • 内蔵アライナタイプをリリース予定
現状ロボット搬送幅
図面1
新型ロボット搬送幅
図面2
  • 走行軸無しで、上下・左右方向の
    広範囲にアクセス可能であり、
    ３～５ポートに対応可能
スカラアーム採用による装置設置面積の縮小化データ

仕様*1

型式 UT-AXW3000NS UT-AXW3001NS
ロボット形状 6軸垂直多関節型
ワーク把持方式 真空吸着式／エッジクランプ式
動作範囲(※2) X-axis 550mm
Y-axis 2200mm 2700mm
Z-axis 1186mm 1436mm
最大速度 X-axis 1500mm /sec
Y-axis 1500mm /sec
Z-axis 1500mm /sec
繰返し位置精度 XYZ direction: ±0.05mm each (※3)
可搬質量 2.0kg (※4)
クリーン度 ISO Class 1
本体質量 Approx. 150kg Approx. 155kg
設置環境 温度 5-40℃
湿度 20-70%, No condensation

※1. オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
※2 アーム姿勢によっては制限があります。
※3 当社の評価による。
※4 ハンドベース、ハンド、ウエハの合計質量。

UT-AXW3000NS
図面1
UT-AXW3001NS
図面2

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