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ACTRANS
導入のメリット
UT-VFX4000NM Series
～300mmウエハ用
マスク、サセプタ、トレイ等の
重量物を搬送可能な
高可搬シングルアーム真空ロボット
特長
- シングルアームタイプにＺ軸付もラインアップ
- マスク、サセプタ、トレイ等の重量物を搬送可能
クリーン搬送ロボットACTRANS導入のメリット
仕様*1
| 型式 Model | UT-VFX4000NM | UT-VFX4001NM | |
|---|---|---|---|
| 分類 Category | No Z-axis type | With Z-axis type | |
|
ロボット形状 Robot Type |
2軸円筒座標型 2 axis Cylindrical Coordinate |
3軸円筒座標型 3 axis Cylindrical Coordinate |
|
|
動作範囲 Operation Range |
X-axis | 750mm | |
| θ-axis | 340° | ||
| Z-axis | - | 22mm | |
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最大動作速度 Max.Operation Speed |
X-axis | 62°/sec. | |
| θ-axis | 192°/sec. | ||
| Z-axis | - | 121mm/sec. | |
|
動作時間 Cycle Time |
X-axis | 2.7sec. / 750mm | |
| θ-axis | 2.7sec. / 340° | ||
| Z-axis | - | 0.6sec. / 22mm | |
|
繰り返し位置精度 Repeatability |
XYZ direction±0.1mm each(when
approaching θ-axis from one side) XYZ direction±0.2mm each(when approaching θ-axis from both sides) |
||
| 可搬質量 Payload | 4kg (ハンド質量含む:including E/E) | ||
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 1(ISO-14644) | ||
| 本体質量 Mass | 38kg | 44kg | |
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設置環境 Environment |
温度 Temperature | 5-40℃(Atomosphere side)/0-80℃(Vacuum Seal Unit) | |
| 湿度 Humidity | 70% or less, No condensation | ||
| 圧力 Pressure | Atomospheric pressure ～ 10-6Pa | ||
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります
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