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ACTRANS
導入のメリット
UTX/W-RF5501RW
～300mmウエハ用防滴モデル
IP64の保護等級を持つ防滴ロボット
特長
- 保護等級IP64を実現しており、水分を扱うプロセスでの使用が可能
- 特殊な薬液に対応した表面コーティングも対応可能
クリーン搬送ロボットACTRANS導入のメリット
仕様*1
| 型式 Model | UTX-RF5501RW | UTW-RF5501RW | |
|---|---|---|---|
| ロボット形状 Robot Type | 3-axis Cylindrical Coordinate | 4-axis Cylindrical Coordinate | |
|
動作範囲 Operation Range |
X, A-axis | 500mm | |
| θ-axis | 340° | ||
| Z-axis | 300mm | ||
| R-axis | 180° | ||
|
最大動作速度 Max. Operation Speed |
X1, X2-axis | 800mm/sec. | |
| θ-axis | 130°/sec. | ||
| Z-axis | 200mm/sec. | ||
| R-axis | 150°/sec. | ||
|
動作時間 Cycle Time |
X1, X2-axis | 1.6sec./500mm | |
| θ-axis | 3.2sec./340° | ||
| Z-axis | 2.5sec./300mm | ||
| R-axis | 2.0sec./180° | ||
| 繰返し位置精度 Repeatability |
XYZ方向：各±0.1mm XYZ direction ±0.1mm each |
||
| 可搬重量 Payload | 1.5kg/arm (ハンド・ハンドベースを含む)(Including E/E, E/E base) | ||
| クリーン度 Cleanliness | ISO Class 4 (ISO-14644) | ||
| 本体質量 Mass | 32kg | 40kg | |
| 必要諸元 Facilities | 圧空(クランプ用) Clamp air | 0.25-0.3MPaG | |
|
圧空(結露防止・機内加圧用) Internal pressure application and condensation prevention |
0.05MPaG | ||
| 電源 Power | 100-115±10％ VAC, 50/60Hz, 5A | ||
| 設置環境 Environment | 温度 Temperature | 0-40℃ | |
| 湿度 Humidity | 20-70% (結露なきこと)(No condensation) | ||
※1 オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります
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