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ウエハ搬送ロボット（真空ロボット／大気ロボット）
製品一覧
- ウエハアライナEG-303 / OFH-4100
- 円筒座標型 標準型ウエハ搬送ロボットUT-AFX/W3000NM
- 円筒座標型 高可搬ウエハ搬送ロボットUT-AFX/W4000NM
- 垂直多関節型ウエハ搬送ロボットUT-AXW3000NS
- スカラ型 走行軸レス 4Portウエハ搬送ロボットUTM-R3700F
- 円筒座標型 高速・低振動ウエハ搬送ロボットUT-VDW3000HS
- 円筒座標型 高精度・低振動ウエハ搬送ロボットUT-VDX3000NS
- 円筒座標型 標準型ウエハ搬送ロボットUT-VFX3000NM
- 円筒座標型 高可搬ウエハ搬送ロボットUT-VFX4000NM
- スカラ型 高精度ウエハ搬送ロボットUT-VSW3000NS
- 円筒座標型 高耐熱ウエハ搬送ロボットUTVW-R2800H
- 円筒座標型 高速ウエハ搬送ロボットUTW-REH5500
- 特殊機 反転軸搭載防滴ウエハ搬送ロボットUTX/W-RF5501RW
