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PLP搬送ロボット（PLP先進後⼯程）

• シングルアームPLP搬送ロボット SPR-804R
• スカラ型⾼精度PLP搬送ロボット UT-VSW3000NS Series
• テレスコ型ダブルアームPLP搬送ロボット SPR-AD008BTN/BWN Series
• ポール型ダブルアームPLP搬送ロボット SPR-AD020BPN Series

真空ロボット

• 円筒座標型 高耐熱 ウエハ搬送ロボット UTVW-R2800H
• 円筒座標型 高耐熱 ウエハ搬送ロボット UT-VFX3000NM Series
• 円筒座標型 高速・低振動 ウエハ搬送ロボット UT-VDW3000HS Series
• 円筒座標型 高可搬 ウエハ搬送ロボット UT-VFX4000NM Series
• スカラアーム型 高精度 ウエハ搬送ロボット UT-VSW3000NS Series
• 円筒座標型 高精度・低振動 ウエハ搬送ロボット UT-VDX3000NS Series

大気ロボット

• 垂直多関節型 ウエハ搬送ロボット UT-AXW3000NS Series
• スカラ型 走行軸レス 4Port ウエハ搬送ロボット UTM-R3700F
• 円筒座標型 標準型 ウエハ搬送ロボット UT-AFX/W3000NM Series
• 円筒座標型 高可搬 ウエハ搬送ロボット UT-AFX/W4000NM Series
• 円筒座標型 高速 ウエハ搬送ロボット UTW-REH5500
• 特殊機 防滴 ウエハ搬送ロボット UTX/W-RF5501RW

ウエハアライナ

• 50～300mmウエハ用 ウエハアライナ OFH-4100 Series
• 300mmウエハ用 ウエハアライナ EG-303 Series

FPD（フラットパネルディスプレイ）搬送ロボット

• G2〜3世代対応シングルアームFPD搬送ロボット SPR-804R
• G5〜6世代対応ダブルアームFPD搬送ロボット SPR-8580