クリーン搬送ロボット
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製品情報一覧
真空ロボット
円筒座標型 高耐熱 ウエハ搬送ロボット UTVW-R2800H
円筒座標型 高耐熱 ウエハ搬送ロボット UT-VFX3000NM Series
円筒座標型 高速・低振動 ウエハ搬送ロボット UT-VDW3000HS Series
円筒座標型 高可搬 ウエハ搬送ロボット UT-VFX4000NM Series
スカラアーム型 高精度 ウエハ搬送ロボット UT-VSW3000NS Series
円筒座標型 高精度・低振動 ウエハ搬送ロボット UT-VDX3000NS Series
大気ロボット
垂直多関節型 ウエハ搬送ロボット UT-AXW3000NS Series
スカラ型 走行軸レス 4Port ウエハ搬送ロボット UTM-R3700F
円筒座標型 標準型 ウエハ搬送ロボット UT-AFX/W3000NM Series
円筒座標型 高可搬 ウエハ搬送ロボット UT-AFX/W4000NM Series
円筒座標型 高速 ウエハ搬送ロボット UTW-REH5500
特殊機 防滴 ウエハ搬送ロボット UTX/W-RF5501RW
ウエハアライナ
50~300mmウエハ用 ウエハアライナ OFH-4100 Series
300mmウエハ用 ウエハアライナ EG-303 Series
ダイヘンのクリーン搬送ロボット導入のメリット
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用語集 〜クリーンルームにおける半導体搬送ロボットの基本用語〜
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