真空ウエハロボット
スカラアーム型 高精度
UT-VSW3000NS Series
スカラアーム搭載による省スペース化とダイレクトドライブモータによる高精度、低振動を実現した真空ロボット
真空ウエハロボット
円筒座標型 高速・低振動
UT-VDW3000HS Series
世界最速級の真空内高速運搬により、
装置スループットの大幅な向上に貢献する高速・低振動ダブルアーム真空ロボット
ウエハアライナ
OFH-4100 Series
50〜300mm ウエハ用
高速アライメントが可能なアライナ
EG-303 Series
300mmウエハ用
ウエハ裏面に接触しない
エッジグリップタイプのアライナ
